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❌半導體製程(如光阻塗佈、曝光、蝕刻、鍍膜)對溫溼度變化極敏感,稍有偏差可能造成良率降低、製程錯誤。
❌半導體廠區普遍需 Class 1~1000 無塵等級,空調送風若氣流設計不佳,會造成微粒堆積或亂流。
❌半導體產線24小時不間斷,空調或冷卻系統如故障,將造成嚴重停機損失。
❌半導體建廠速度快,配合快、彈性強的系統供應商是關鍵。
✅提供高精度恆溫恆濕空調箱,符合 Class 100~1,000 等級的製程空間需求。
✅空調箱內部使用防靜電內壁材質,並可配合除濕與ESD接地規劃。設計層流送風(Laminar Flow)結構,氣流均勻、潔淨區穩定。
✅採用N+1 冗餘設計原則,設備備援、系統可模組切換。建議搭配雙迴路冷卻水系統與緊急電力接口,即使異常也能維持環境條件。
✅設計時即納入未來擴建彈性,預留空調容量與接口,方便模組擴增。提供分區獨立送風/冷卻機模組,快速因應新區需求,不影響現有系統運作。
「一度溫差、一絲濕度,都可能影響晶片良率。勝新專注於半導體無塵製程的空調與冷卻系統,從潔淨等級控管、溫溼度穩定、系統冗餘設計,到節能減碳方案,皆提供符合業界標準的一站式解決方案,是您提升產線穩定性與良率的最佳夥伴。」